Product detail
Termální desorpční spektroskopie (TDS)
POTOČEK, M. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Detekce atomů a molekul uvolňovaných z řízeně ohřívaného povrchu vzorku. Metoda je realizována v UHV komoře a konstrukce zařízení umožňuje omezení nežádoucího vlivu zahřívaných součástí držáku vzorku. Proudový ohřev vzorku je řízen programem, který také umožňuje snadnou automatizaci procesu čištění vzorku metodou flešování.
Keywords
termální desorpce; TDS; UHV; in situ analýza; tenké vrstvy
Create date
1. 6. 2008
Location
A2/518
Possibilities of use
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www