Detail produktu
Termální desorpční spektroskopie (TDS)
POTOČEK, M. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Detekce atomů a molekul uvolňovaných z řízeně ohřívaného povrchu vzorku. Metoda je realizována v UHV komoře a konstrukce zařízení umožňuje omezení nežádoucího vlivu zahřívaných součástí držáku vzorku. Proudový ohřev vzorku je řízen programem, který také umožňuje snadnou automatizaci procesu čištění vzorku metodou flešování.
Klíčová slova
termální desorpce; TDS; UHV; in situ analýza; tenké vrstvy
Datum vzniku
1. 6. 2008
Umístění
A2/518
Možnosti využití
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www