Product detail
Termální disociační zdroj atomů vodíku.
MACH, J. ŠIKOLA, T.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Přístroj vytváří užitím vysokoteplotní disociace (2000 K) svazek atomů vodíku o termální energii (0.1 - 1 eV). Tento svazek má mnoho různých aplikací, jako například: nízkoteplotní čištění a modifikace povrchů a tenkých vrstev, molekulární svazkové epitaxe s asistencí atomárního vodíku.
Keywords
Atomární vodík; termální disociační zdroj atomů vodíku; atomární zdroj; vodík; disociace
Create date
3. 3. 2008
Location
A2/518
Possibilities of use
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www