Detail produktu
Termální disociační zdroj atomů vodíku.
MACH, J. ŠIKOLA, T.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Přístroj vytváří užitím vysokoteplotní disociace (2000 K) svazek atomů vodíku o termální energii (0.1 - 1 eV). Tento svazek má mnoho různých aplikací, jako například: nízkoteplotní čištění a modifikace povrchů a tenkých vrstev, molekulární svazkové epitaxe s asistencí atomárního vodíku.
Klíčová slova
Atomární vodík; termální disociační zdroj atomů vodíku; atomární zdroj; vodík; disociace
Datum vzniku
3. 3. 2008
Umístění
A2/518
Možnosti využití
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www