Product detail
UHV rotační piezo posuv
NOVÁČEK, Z. NEUMAN, J. ŠIKOLA, T. KALOUSEK, R. ZLÁMAL, J.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Počítačem ovládaný krokový rotační posuv ve 3 osách. Nastavení rychlosti posuvu a volba velikosti úhlového kroku. Systém navržený pro UHV podmínky.
Keywords
Piezo motor; 3-osý pohyb; UHV AFM; zaměřování laserového svazku
Create date
24. 11. 2008
Location
A2/518
Possibilities of use
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www