Detail produktu
UHV rotační piezo posuv
NOVÁČEK, Z. NEUMAN, J. ŠIKOLA, T. KALOUSEK, R. ZLÁMAL, J.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Počítačem ovládaný krokový rotační posuv ve 3 osách. Nastavení rychlosti posuvu a volba velikosti úhlového kroku. Systém navržený pro UHV podmínky.
Klíčová slova
Piezo motor; 3-osý pohyb; UHV AFM; zaměřování laserového svazku
Datum vzniku
24. 11. 2008
Umístění
A2/518
Možnosti využití
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www