Product detail
Zobrazovací in situ reflektometr
SPOUSTA, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T. CHMELÍK, R.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Monitorování plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev.
Keywords
tenké vrstvy, in situ analýza, optické vlastnosti, reflektometr
Create date
23. 1. 2007
Location
A2/518
Possibilities of use
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek