Detail produktu
Zobrazovací in situ reflektometr
SPOUSTA, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T. CHMELÍK, R.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Monitorování plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev.
Klíčová slova
tenké vrstvy, in situ analýza, optické vlastnosti, reflektometr
Datum vzniku
23. 1. 2007
Umístění
A2/518
Možnosti využití
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek