Publication detail

Manipulátor vzorku pro rentgenovou fotoelekronovou spektroskopii do velmi vysokého vakua

POLČÁK, J. BÁBOR, P. ČECHAL, J. ŠIKOLA, T.

Original Title

English Title

Sample manpulator for X-ray photoelectron specoscopy compatible with ultra high vacuum.

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Rentgenová fotoelektronová spektroskopie (XPS) je zavedenou metodou v laboratořích pro výzkum povrchů a tenkých vrstev. V článku je uvedena konstrukce utomatizovaného manipuláoru, který umožňuje posun vzorku ve třech osách a jeho rotaci v polárním aazimutálním úhlu. Tímto systémem mohou být snadno získána data z úhlově závislých měření nebo rentgenové fotoelektronové difraktogramy.

English abstract

X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is a well established technique which cannot be omitted in any surface and thin film laboratory. We report on construction of an automated sample manipulator which enable sample positioning in three axes an sample rotations in polar and azimutal angles. The automatiation enables an easy obtaining of angle resolved data or X-ray photoelectron difractograms.

Keywords

rentgenová fotoelektronová spektroskopie, XPS, ARXP, velmi vysoké vakuum, UHV, manipulátor

Key words in English

X-ray photoelectron spectroscopy, XPS, ARXPS, ultra high vacuum, UHV, manipulator

Authors

POLČÁK, J.; BÁBOR, P.; ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T.

RIV year

2009

Released

1. 9. 2009

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

Number

7-8

State

Czech Republic

Pages from

215

Pages to

216

Pages count

BibTex

@article{BUT47906,
  author="Josef {Polčák} and Petr {Bábor} and Jan {Čechal} and Tomáš {Šikola}",
  title="Manipulátor vzorku pro rentgenovou fotoelekronovou spektroskopii do velmi vysokého vakua",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2009",
  volume="54",
  number="7-8",
  pages="215--216",
  issn="0447-6441"
}