Publication detail

Využití termální desorpční spektroskopie při studiu povrchové kontaminace

POTOČEK, M. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T.

Original Title

English Title

Application of thermal desorption spectroscopy for surface contamination investigation

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

V článku je popsán teoretický základ termální desorpční spektroskopie a její realizace v laboratoři povrchů a tenkých vrstev. Dále je uvedeno použití této metody při studiu kontaminace Si desek.

English abstract

Theoretical basics of thermal desorption spectroscopy and its realization in the Surfaces and Thin Films Laboratory is presented. As an example of application of this method a study of contamination of Si wafer is reported.

Keywords

Termální desorpční spektroskopie, TDS; desorpce; adsorpce

Key words in English

Thermal desorption spectroscopy, TDS; desorption; adsorption

Authors

POTOČEK, M.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T.

RIV year

2009

Released

1. 9. 2009

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

Number

7-8

State

Czech Republic

Pages from

217

Pages to

218

Pages count

BibTex

@article{BUT46796,
  author="Michal {Potoček} and Petr {Bábor} and Tomáš {Šikola}",
  title="Využití termální desorpční spektroskopie při studiu povrchové kontaminace",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2009",
  volume="54",
  number="7-8",
  pages="217--218",
  issn="0447-6441"
}