Publication detail
Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm
ZMRZLÝ, M.
Original Title
Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm
English Title
Chemical analysis of structure of coatings with resolution of 170 nm
Type
conference paper
Language
Czech
Original Abstract
Souhrn výhod měření EDS spekter pomocí FEG SEM. Jsou prezentovány možnosti zmenšení interakčního objemu, úpravy kalibrace a plazmatické dekontaminace.
English abstract
Summary of advantages of EDS measurement with use of FEG SEM. Interaction volume decreasing, plasma decontamination and adjustement of calibration are discussed.
Keywords
FEG, EDS analysis
Key words in English
FEG, EDS analysis
Authors
ZMRZLÝ, M.
RIV year
2014
Released
4. 2. 2014
Publisher
ČSPÚ
Location
Jihlava
ISBN
978-80-905648-0-0
Book
Sborník přednášek
Pages from
34
Pages to
35
Pages count
149
BibTex
@inproceedings{BUT106341,
author="Martin {Zmrzlý}",
title="Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm",
booktitle="Sborník přednášek",
year="2014",
pages="34--35",
publisher="ČSPÚ",
address="Jihlava",
isbn="978-80-905648-0-0"
}