Detail publikace
Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm
ZMRZLÝ, M.
Originální název
Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm
Anglický název
Chemical analysis of structure of coatings with resolution of 170 nm
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
čeština
Originální abstrakt
Souhrn výhod měření EDS spekter pomocí FEG SEM. Jsou prezentovány možnosti zmenšení interakčního objemu, úpravy kalibrace a plazmatické dekontaminace.
Anglický abstrakt
Summary of advantages of EDS measurement with use of FEG SEM. Interaction volume decreasing, plasma decontamination and adjustement of calibration are discussed.
Klíčová slova
FEG, EDS analysis
Klíčová slova v angličtině
FEG, EDS analysis
Autoři
ZMRZLÝ, M.
Rok RIV
2014
Vydáno
4. 2. 2014
Nakladatel
ČSPÚ
Místo
Jihlava
ISBN
978-80-905648-0-0
Kniha
Sborník přednášek
Strany od
34
Strany do
35
Strany počet
149
BibTex
@inproceedings{BUT106341,
author="Martin {Zmrzlý}",
title="Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm",
booktitle="Sborník přednášek",
year="2014",
pages="34--35",
publisher="ČSPÚ",
address="Jihlava",
isbn="978-80-905648-0-0"
}