Diagnostikou vysokofrekvenčního zdroje plazmatu pomocí základních elektrotechnických metod bude určeno několik významných kombinací vstupních parametrů (mezi které patří například tlak pracovního plynu nebo dodávaný výkon), pro které bude měření doplněno optickou emisní spektrometrií. Získané výsledky budou vzájemně kombinovány a vyhodnoceny s cílem dosáhnout vyšší úrovně porozumění procesům ve vysokofrekvenčně excitovaném plazmatu.

FCH/FEKT-J-23-8282

Czech

Juřík Karel, Ing. - principal person responsible
Drexler Petr, doc. Ing., Ph.D. - fellow researcher
Krčma František, prof. RNDr., Ph.D. - fellow researcher
Měšťánková Zuzana, Ing. - fellow researcher

Department of Theoretical and Experimental Electrical Engineering
- responsible department (22.3.2023 - not assigned)
Faculty of Electrical Engineering and Communication
- responsible department (25.1.2023 - 22.3.2023)
Department of Theoretical and Experimental Electrical Engineering
- internal (1.1.2023 - 31.12.2023)
Faculty of Chemistry
- internal (1.1.2023 - 31.12.2023)
Institute of Physical and Applied Chemistry
- internal (1.1.2023 - 31.12.2023)
Faculty of Electrical Engineering and Communication
- beneficiary (1.1.2023 - 31.12.2023)

Responsibility: Juřík Karel, Ing.