Project detail
Syntéza měřících metod pro dostupnou analýzu zdrojů plazmatu
Duration: 01.03.2023 — 28.02.2024
Funding resources
Brno University of Technology - Vnitřní projekty VUT
- whole funder (2023-01-01 - 2024-12-31)
On the project
Diagnostikou vysokofrekvenčního zdroje plazmatu pomocí základních elektrotechnických metod bude určeno několik významných kombinací vstupních parametrů (mezi které patří například tlak pracovního plynu nebo dodávaný výkon), pro které bude měření doplněno optickou emisní spektrometrií. Získané výsledky budou vzájemně kombinovány a vyhodnoceny s cílem dosáhnout vyšší úrovně porozumění procesům ve vysokofrekvenčně excitovaném plazmatu.
Mark
FCH/FEKT-J-23-8282
Default language
Czech
People responsible
Drexler Petr, doc. Ing., Ph.D. - fellow researcher
Krčma František, prof. RNDr., Ph.D. - fellow researcher
Měšťánková Zuzana, Ing. - fellow researcher
Juřík Karel, Ing. - principal person responsible
Units
Department of Theoretical and Experimental Electrical Engineering
- internal (2023-01-01 - 2023-12-31)
Faculty of Electrical Engineering and Communication
- beneficiary (2023-01-01 - 2023-12-31)
Faculty of Chemistry
- internal (2023-01-01 - 2023-12-31)
Institute of Physical and Applied Chemistry
- internal (2023-01-01 - 2023-12-31)