Detail projektu
Syntéza měřících metod pro dostupnou analýzu zdrojů plazmatu
Období řešení: 01.03.2023 — 28.02.2024
Zdroje financování
Vysoké učení technické v Brně - Vnitřní projekty VUT
- plně financující (2023-01-01 - 2024-12-31)
O projektu
Diagnostikou vysokofrekvenčního zdroje plazmatu pomocí základních elektrotechnických metod bude určeno několik významných kombinací vstupních parametrů (mezi které patří například tlak pracovního plynu nebo dodávaný výkon), pro které bude měření doplněno optickou emisní spektrometrií. Získané výsledky budou vzájemně kombinovány a vyhodnoceny s cílem dosáhnout vyšší úrovně porozumění procesům ve vysokofrekvenčně excitovaném plazmatu.
Označení
FCH/FEKT-J-23-8282
Originální jazyk
čeština
Řešitelé
Juřík Karel, Ing. - hlavní řešitel
Drexler Petr, doc. Ing., Ph.D. - spoluřešitel
Krčma František, prof. RNDr., Ph.D. - spoluřešitel
Měšťánková Zuzana, Ing. - spoluřešitel
Útvary
Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
- příjemce (01.01.2023 - 31.12.2023)
Ústav teoretické a experimentální elektrotechniky
- interní (01.01.2023 - 31.12.2023)
Fakulta chemická
- interní (01.01.2023 - 31.12.2023)
Ústav fyzikální a spotřební chemie
- interní (01.01.2023 - 31.12.2023)