Projekt se zaměřuje na studium problematiku diagnostiky plazmatu obsahujícího vyší koncentrace jednoduchých uhlovodíků, přičemž nosnými plyny budou argon a směsi argonu s dusíkem. Hlavní diagnostickou metodou bude optická emisní spektroskopie, jako další metody budou využity EPR spektroskopie, plynová chromatografie a další metody analytické chemie. Pomocí těchto metod bude stanoveno složení plazmatu aktivního mikrovlnného výboje, teploty neutrálního plynu a vibrační rozdělení zářivých stavů dvouatomových molekul ve výboji. Cílem projektu je poznání procesů probíhajících v plazmatu s ohledem na aplikaci při depozicích tenkých vrstev na bázi uhlíku (karbidy, karbonitridy). Kromě modelových pokusů na pracovišti řešitelky budou prováděna i měření na poloprovozním zařízení instalovaném ve firmě HVM Plasma. Experimentální výsledky budou prezentovány na mezinárodní konferenci International Symposium on Plasma Chemistry, která proběhne v létě 2003 na Sicílii a jíž se řešitelka bude aktivně účastnit. Výsledky získané během řešení projektu se rovněž stanou základem jedné až dvou nových úloh pro Praktikum z chemie a fyziky nízkoteplotního plazmatu, které je využíváno i studenty přírodovědecké fakulty MU.

Popis anglicky
Project cover the diagnostics of plasma containing higher concentrations of the simple hydrocarbons. Argon and its mixtures with nitrogen will be used as buffer gases. The optical emission spectroscopy will be the main diagnostic method, the EPR, gas chromatography and the other analytical methods will be applied, too. The plasma composition, neutral gas temperature and the vibrational distributions of radiative state will be calculated. The processes in these discharges will be studied under this project with respect on the potential application in the thin films plasma deposition. The results will be presented on the International Symposium on Plasma Chemistry in Taormina (2003) and they will be included into the doctoral Thesis of the applicant. They will be also a basis for the preparation of a new practical task at our faculty.

Klíčová slova
plazmochemická depozice, diagnostika plazmatu, organosilikony

Klíčová slova anglicky
Plasma chemical deposition, plasma diagnostics, organosilicones