Publication detail
Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace
KRČMA, F.
Original Title
Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace
English Title
Low pressure plasma, properties and applications
Type
journal article - other
Language
Czech
Original Abstract
Příspěvek podává obecný přehled o široké problematice plazmatu používaného v různých technologických aplikacích. hlavní důraz je kladen na chemické procesy probíhající při depozičních procesech.
English abstract
The contribution gives a general overwiev on the wide problematic of low pressure plasmas used for various technological applications. The main stress is given on the chemical processes involved in the deposition processes.
Key words in English
Plasma physics, plasma chemistry, plasma processes
Authors
KRČMA, F.
RIV year
2006
Released
29. 5. 2006
Publisher
ČVS
Location
Praha
ISBN
1213-2705
Periodical
Zpravodaj České Vakuové Společnosti
Year of study
14
Number
1-2
State
Czech Republic
Pages from
2
Pages to
6
Pages count
5
BibTex
@article{BUT43347,
author="František {Krčma}",
title="Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace",
journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
year="2006",
volume="14",
number="1-2",
pages="2--6",
issn="1213-2705"
}