Publication detail

Diagnostika plazmatu pro PACVD

KRČMA, F.

Original Title

English Title

Plasma Diagnostics for PACVD

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.

English abstract

In the contribution the review of the plasma diagnostic methods used in the thin film plasmachemical depositions is given. The optical emission and absorbtion spectroscopy including the recieps for plasma paramets calculation have been included. The use of the Lagmuire probes and the mass spectroscopy have been described with respect to the deposition problematics. The other diagnostic methods have been only mented due to their limitted use in the field involved.

Keywords

diagnostika plazmatu, optická spektroskopie, Langmuirovy sondy, hmotnostní spektroskopie

Key words in English

Plasma diagnostics, optical spectroscopy, Lagmuir probes, mass spectroscopy

Authors

KRČMA, F.

Released

1. 1. 1999

Publisher

Slovenská vákuová spoločnosť

Location

Bratislava

ISBN

80-227-1192-6

Book

Sborník Letní školy vakuové techniky

Edition number

Pages from

131

Pages to

142

Pages count

BibTex

@inproceedings{BUT3797,
  author="František {Krčma}",
  title="Diagnostika plazmatu pro PACVD",
  booktitle="Sborník Letní školy vakuové techniky",
  year="1999",
  number="1",
  pages="12",
  publisher="Slovenská vákuová spoločnosť",
  address="Bratislava",
  isbn="80-227-1192-6"
}