Vývoj laboratorní aparatury pro 2D mapování chemického složení s vysokým plošným rozlišením pomocí laserové spektroskopie - LIBS

Development of laboratory LIBS setup for 2D high-resolutin elemental mapping

conference paper

Czech

Moderní metody laserové spektroskopie umožňují realizovat rychlou a přesnou materiálovou analýzu nejen v laboratorních podmínkách, ale také v podmínkách běžné průmyslové praxe. Technika známá jako Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS) využívá pulzního laseru k vybuzení mikroplazmatu na povrchu vzorku. Záření plazmatu, které nese informace o chemickém složení zkoumaného materiálu je podrobeno časově rozlišené spektrální analýze. Metoda umožňuje analyzovat vzorky jakéhokoli skupenství a při vhodném uspořádání sestavy pracuje téměř v reálném čase. Povrchové rozlišení je limitováno pouze velikostí ablačního kráteru (desítky až stovky mikrometrů) a hloubkové rozlišení se může pohybovat až v desítkách nanometrů. V příspěvku prezentujeme vývoj laboratorní LIBS aparatury na Ústavu fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně. Zaměříme se na popis řešení automatizace dvourozměrné povrchové analýzy, jejímž výsledkem je 2D mapa přítomnosti chemických prvků. Uvedeme vhodný algoritmus (založený na analýzy ostrosti snímku vzorku) pro opětovné nastavení mapovaného vzorku do ohniskové roviny objektivu. Dále pojednáme o technikách double-pulse LIBS a LIBS + LIFS. Uvedeme, jak jsou tyto techniky realizovány a na konkrétných příkladech demonstrujeme výhody využití těchto metod.

The recent dvelopments and applications of the table-top laboratory laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS) setup at the Institute of Physical Engineering, Faculty of Mechanical Engineering, Brno University of Technology and its applications for 2D elemental mapping with high-resolution are presented.

LIBS, remote LIBS, development, applications

R. Malina, J. Kaiser, J. Novotný, D. Procházka, M. Liška, K. Novotný, M. Galiová, A. Hrdlička

2010

31. 5. 2010

978-80-7395-282-2

Sborník 14. Česko-Slovenské Spektroskopické Konference

1

1

Po27

Po27

1