Product detail
Univerzální polohovací stolek pro reflexní mikroskopii
ANTOŠ, M. LOVICAR, L.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Polohovací stolek pro reflexní mikroskopii umožňuje nezávislé plohování vzorku ve třech navzájem kolmých osách x,y,z. Pohyb stolku ve směru optické osy mikroskopu je zajištěn třemi oddělenými nezávislými lineárními pohyby. První dva pohyby jsou ovládány justážními kroužky dvou přesně soustružených pohybových šroubů s hrubým rozlišením 0,01 mm v rozsahu 30mm a jemným rozlišením 0,001 v rozsahu 5mm. Třetí pohyb je ovládán piezoelektrickým převodníkem v rozsahu 100 mikrometrů s rozlišením 1 nm. Pohyb v příčném směru x,y v rozsahu 25 mm je realizován užitím dvou nezávisle řízených stolků s ultrasonickými motory s minimálním krokem 0,3 mikrometru.
Keywords
mikropolohování, reflexní mikroskopie
Create date
15. 1. 2010
Location
VUT FSI v Brně A2/212
Possibilities of use
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www