Product detail
Wienův filtr - zařízení pro hmotnostní selekci iontových svazků
VOBORNÝ, S. POKORNÝ, J. JÁNSKÝ, P. ŠIKOLA, T.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Zařízení sestává z elektromagnetického obvodu, který uvnitř vakuové trubice, umístěné na dráze iotového svazku, vytváří zkřížené homogenní elektrické a magnetické pole. Vhodným nastavením intenzity elektrického pole a magnetického pole permanentního magnetu lze separovat nežádoucí nečistoty z iontového svazku (především kyslík a uhlík). Zařízení lze provozovat na plovoucím potenciálu. Napětí na elektrodách je řízeno počítačem pomocí vlastního software.
Keywords
hmotnostní filtr, hmotnostní separace, iontové svazky, nečistoty, tenké vrstvy
Create date
1. 12. 2008
Location
A2/518
Possibilities of use
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www