Publication detail

Citlivostní analýza vyhodnocování optických parametrů tenkých vrstev (aneb jaké jsou naše šance získat věrohodný výsledek fitováním spekter odrazivosti)

SPOUSTA, J. ZLÁMAL, J. URBÁNEK, M. BĚHOUNEK, T. PLŠEK, R. KALOUSEK, R. ŠIKOLA, T.

Original Title

English Title

Sensitivity analysis of optical parameters fitting procedure

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

V článku je popsána základní myšlenka citlivostní analýzy fitovací procedury běžně používané při vyhodnocování optických parametrů tenkých vrstev. Hledání minimální hodnoty sumy čtverců odchylek teoretické závislosti a závislosti získané experimentálně je často negativně ovlivněno výběrem startovacího vektoru optických parametrů. Proto je v příspěvku zaveden a diskutován tzv. faktor spolehlivosti, který vypovídá o pravděpodobnosti nalezení věrohodného výsledku fitováním. Počáteční vektor startovacích parametrů je vybírán z určitého okolí ideálního (známého) řešení a sleduje se, zda bylo po fitovací proceduře dosaženo shody (TRUE), či nikoliv (FALSE) s tímto řešením. Faktor spolehlivosti je pak zaveden jako poměr počtu úspěšných (TRUE) ku celkovému (TRUE+FALSE) počtu výpočtů. Ukazuje se, že existují takové kombinace optických parametrů zkoumaných vrstev, že lze ke shodě s ideálním řešením dojít téměř vždy, nezávisle na volbě startovacího vektoru parametrů (např. situace pro tloušťku SiO2 vrstvy na Si dSiO2 = 130 nm). Na druhé straně je možné identifikovat i tloušťky, pro které je vyhledání minima odchylek na tomto počátečním parametru silně závislé (např. dSiO2 = 485 nm). Pro srovnání je rovněž uveden faktor spolehlivosti pro vyhodnocování vrstvy TiO2 na Si. Výsledky, prezentované v tomto příspěvku, byly určovány pomocí vlastního programu RELIABILITY.EXE, který se ukázal jako vhodný nástroj k provádění předběžné analýzy citlivosti fitovací metody na volbu startovacích parametrů vrstev.

English abstract

Article deals with a sensitivity analysis of fitting procedure: theoretical model of reflectance is fitted to an "ideal" data by applying Levenberg - Marquardt algorithm in order to determine optical properties, their accuracy and reliability factor used to quantify a convergence successfulness of the reflectance model at given set of starting parameters vector.

Keywords

Tenké vrstvy; optické parametry; spolehlivost

Key words in English

Thin Films; Optical parametres; Sensitivity analysis

Authors

SPOUSTA, J.; ZLÁMAL, J.; URBÁNEK, M.; BĚHOUNEK, T.; PLŠEK, R.; KALOUSEK, R.; ŠIKOLA, T.

RIV year

2009

Released

1. 9. 2009

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

Number

7-8

State

Czech Republic

Pages from

225

Pages to

228

Pages count

BibTex

@article{BUT48786,
  author="Jiří {Spousta} and Jakub {Zlámal} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Běhounek} and Radek {Plšek} and Radek {Kalousek} and Tomáš {Šikola}",
  title="Citlivostní analýza vyhodnocování optických parametrů tenkých vrstev (aneb jaké jsou naše šance získat věrohodný výsledek fitováním spekter odrazivosti)",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2009",
  volume="54",
  number="7-8",
  pages="225--228",
  issn="0447-6441"
}