Publication detail

Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta

BÁBOR, P. DUDA, R. PRŮŠA, S. MATLOCHA, T. KOLÍBAL, M. KALOUSEK, R. NEUMAN, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T.

Original Title

English Title

Ion mechanics as a tool for nano-world analysis

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS

English abstract

In the contribution the result on the combination of ion sputtering and scattering processes for achieving enhanced complementary information on the analyzed multilayer are reported. Physical background of ion-solid interactions is discussed. Specifically, the combination of SIMS and TOF-LEIS techniques will be introduced.

Keywords

SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, hloubkové profilování, interakce iontů, rozptyl iontů, MoSi

Key words in English

SIMS, TOF-LEIS, HRTEM, depth profilling, interactions of ions, ion scaterring, MoSi

Authors

BÁBOR, P.; DUDA, R.; PRŮŠA, S.; MATLOCHA, T.; KOLÍBAL, M.; KALOUSEK, R.; NEUMAN, J.; URBÁNEK, M.; ŠIKOLA, T.

RIV year

2009

Released

1. 9. 2009

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

Number

7-8

State

Czech Republic

Pages from

209

Pages to

214

Pages count

BibTex

@article{BUT48479,
  author="Petr {Bábor} and Radek {Duda} and Stanislav {Průša} and Tomáš {Matlocha} and Miroslav {Kolíbal} and Radek {Kalousek} and Jan {Neuman} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola}",
  title="Mechanika iontů jako prostředek k analýze nanosvěta",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2009",
  volume="54",
  number="7-8",
  pages="209--214",
  issn="0447-6441"
}