Publication detail

Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

KRČMA, F.

Original Title

English Title

Optical Plasma Diagnostic Methods for the Low Pressure Depositions

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.

English abstract

The contribution is focused on the basic information about optical spectroscopy methods applied in the field of low-pressure plasma diagnostics. Tha basic quantum mechanics is given, too, and on this background the determination of electron, vibrational and rotational temperatures are given. The calculation of electron concentration from the spectra is also included. The principle of Abel transformation is shown on the example of non-homogeneous plasma object. The last part gives an overview through the absorption spectroscopy methods and their applicability in plasma diagnostics.

Key words in English

optical emission spectroscopy, absorption spectroscopz, laser spectroscopy, spectrometer, Abel transformation

Authors

KRČMA, F.

RIV year

2005

Released

30. 5. 2005

Publisher

Česká vakuová společnost

Location

Praha

ISBN

1213-2705

Periodical

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

Year of study

Number

State

Czech Republic

Pages from

Pages to

Pages count

BibTex

@article{BUT42473,
  author="František {Krčma}",
  title="Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  year="2005",
  volume="13",
  number="2",
  pages="6--16",
  issn="1213-2705"
}