Detail publikace

Analysis of Annealed Thin Polymer Films Prepared from Dichloro(methyl)phenylsilane by Plasma Polymerization

ČECH, V.

Originální název

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

Thin plasma polymer films were deposited from a mixture of dichloro(methyl)phenylsilane vapor and gaseous hydrogen in an RF capacitive coupling deposition system on pieces of silicon wafers.

Klíčová slova v angličtině

thin films, plasma polymerization,thermogravimetric analysis, FTIR, ESCA/XPS

Autoři

ČECH, V.

Rok RIV

2001

Vydáno

1. 1. 2001

ISSN

0021-8995

Periodikum

Journal of Applied Polymer Sciences

Ročník

Číslo

Stát

Spojené státy americké

Strany od

2106

Strany do

2112

Strany počet

BibTex

@article{BUT39848,
  author="Vladimír {Čech}",
  title="Analysis of Annealed Thin Polymer Films Prepared from Dichloro(methyl)phenylsilane by Plasma Polymerization",
  journal="Journal of Applied Polymer Sciences",
  year="2001",
  volume="82",
  number="9",
  pages="7",
  issn="0021-8995"
}