Detail publikace

Plasma-Polymerized Thin Films of Hexamethyldisiloxane Prepared at Low RF Power

BÁLKOVÁ, R., PŘIKRYL, R., SALYK, O.

Originální název

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

The plasma-polymerized HMDSO films were characterized by many techniques suitable to investigate their mechanical and thermal properties, and to determine composition, structure and surface morphology.

Klíčová slova v angličtině

thin films, plasma polymerization, FTIR, ESCA/XPS, scratch test, modulus

Autoři

BÁLKOVÁ, R., PŘIKRYL, R., SALYK, O.

Rok RIV

2001

Vydáno

1. 1. 2001

Nakladatel

GREMI, CNRS/University of Orleans

Místo

Orleans, France

Strany od

1747

Strany do

1753

Strany počet

BibTex

@inproceedings{BUT3791,
  author="Radka {Bálková} and Radek {Přikryl} and Ota {Salyk}",
  title="Plasma-Polymerized Thin Films of Hexamethyldisiloxane Prepared at Low RF Power",
  booktitle="15th Int. Symposium on Plasma Chemistry",
  year="2001",
  pages="7",
  publisher="GREMI, CNRS/University of Orleans",
  address="Orleans, France"
}