Detail předmětu

Tenké vrstvy

FCH-MCO_TVRAk. rok: 2009/2010

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).

Jazyk výuky

čeština

Počet kreditů

4

Garant předmětu

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Zajišťuje ústav

Ústav chemie materiálů (ÚCHM)

Výsledky učení předmětu

Studenti získají základní znalosti o průmyslových technologiích pro přípravu tenkých vrstev, jejich povrchové a objemové analýze. Tyto znalosti mohou využít při zpracování diplomové práce a také později jako technologové a výzkumní pracovníci.

Prerekvizity

Základy chemie a fyziky.

Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody

Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.

Způsob a kritéria hodnocení

Součástí zkoušky je vstupní písemný test. Vlastní zkouška probíhá ústně a hodnotí úroveň základních znalostí studenta z technologií přípravy vrstev, způsobů jejich charakterizace, vlastností a použití tenkých vrstev v rozsahu probíraném na přednášce.

Osnovy výuky

Úvod / Informační zdroje
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev

Učební cíle

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky

Studenti dostanou na začátku semestru zadánu literaturu ke studiu. Její nastudování je kontrolováno na konci semestru formou písemného testu a ústní zkoušky.

Základní literatura

Eckertová L.: Fyzika tenkých vrstev. SNTL, Praha 1973. (CS)
Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998. (CS)
Mironov V. L.: Fundamentals of Scanning Probe Microscopy. Tekhnosfera, Moscow 2004. (CS)
Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002. (CS)

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program NPCP_CHM magisterský navazující

    obor NPCO_CHM , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný
    obor NPCO_CHM , 2 ročník, letní semestr, povinně volitelný

  • Program NPCP_SCH magisterský navazující

    obor NPCO_SCH , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný
    obor NPCO_SCH , 2 ročník, letní semestr, povinně volitelný

  • Program NKCP_CHM magisterský navazující

    obor NKCO_CHM , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný
    obor NKCO_CHM , 2 ročník, letní semestr, povinně volitelný

  • Program NKCP_SCH magisterský navazující

    obor NKCO_SCH , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný
    obor NKCO_SCH , 2 ročník, letní semestr, povinně volitelný

  • Program CKCP_CZV celoživotní vzdělávání (není studentem)

    obor CKCO_CZV , 1 ročník, letní semestr, povinně volitelný

Typ (způsob) výuky

 

Přednáška

26 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.