Detail předmětu
Příprava a vlastnosti tenkých vrstev materiálů
FCH-DCO_PTVAk. rok: 2024/2025
Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).
Jazyk výuky
čeština
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Vstupní znalosti
Úvod do tenkých vrstev.
Pravidla hodnocení a ukončení předmětu
Písemný vstupní test a ústní zkouška.
Přednášky jsou nepovinné.
Přednášky jsou nepovinné.
Učební cíle
Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.
Studenti získají znalosti z problematiky tenkých vrstev nezbytné pro řešení jejich disertační práce.
Studenti získají znalosti z problematiky tenkých vrstev nezbytné pro řešení jejich disertační práce.
Základní literatura
D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998. (CS)
H. Bubert, H. Jenett, Surface and Thin Film Analysis, Wiley-VCH, 2002 (CS)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002. (CS)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004. (CS)
H. Bubert, H. Jenett, Surface and Thin Film Analysis, Wiley-VCH, 2002 (CS)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002. (CS)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004. (CS)
Zařazení předmětu ve studijních plánech
- Program DKCP_CHM_4_N doktorský 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný
- Program DPCP_CHM_4_N doktorský 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný