Detail publikace

Diagnostika plazmatu pro PACVD

KRČMA, F.

Originální název

Anglický název

Plasma Diagnostics for PACVD

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.

Anglický abstrakt

In the contribution the review of the plasma diagnostic methods used in the thin film plasmachemical depositions is given. The optical emission and absorbtion spectroscopy including the recieps for plasma paramets calculation have been included. The use of the Lagmuire probes and the mass spectroscopy have been described with respect to the deposition problematics. The other diagnostic methods have been only mented due to their limitted use in the field involved.

Klíčová slova

diagnostika plazmatu, optická spektroskopie, Langmuirovy sondy, hmotnostní spektroskopie

Klíčová slova v angličtině

Plasma diagnostics, optical spectroscopy, Lagmuir probes, mass spectroscopy

Autoři

KRČMA, F.

Vydáno

1. 1. 1999

Nakladatel

Slovenská vákuová spoločnosť

Místo

Bratislava

ISBN

80-227-1192-6

Kniha

Sborník Letní školy vakuové techniky

Číslo edice

Strany od

131

Strany do

142

Strany počet

BibTex

@inproceedings{BUT3797,
  author="František {Krčma}",
  title="Diagnostika plazmatu pro PACVD",
  booktitle="Sborník Letní školy vakuové techniky",
  year="1999",
  number="1",
  pages="12",
  publisher="Slovenská vákuová spoločnosť",
  address="Bratislava",
  isbn="80-227-1192-6"
}