Detail publikace

Kompletní charakterizace kontaktů

WASSERBAUER, J. ZMRZLÝ, M. KOSÁR, P. CHÁRA, T.

Originální název

Kompletní charakterizace kontaktů

Anglický název

Complete characterization of contacts

Typ

souhrnná výzkumná zpráva - smluv. výzkum

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Bylo provedeno statistické zpracování a porovnání tlouštěk vrstev (cínu a niklu).

Anglický abstrakt

Statistical processing and compared thicknesses of layers (tin and nickel) was performed.

Klíčová slova

Cín, nikl, vrstvy, LM, SEM, EDS.

Klíčová slova v angličtině

Tin, nickel, layers, LM, SEM, EDS.

Autoři

WASSERBAUER, J.; ZMRZLÝ, M.; KOSÁR, P.; CHÁRA, T.

Vydáno

29. 10. 2013

Strany od

1

Strany do

22

Strany počet

22

BibTex

@misc{BUT106322,
  author="Jaromír {Wasserbauer} and Martin {Zmrzlý} and Petr {Kosár} and Tomáš {Chára}",
  title="Kompletní charakterizace kontaktů",
  year="2013",
  pages="1--22",
  note="summary research report - contract. research"
}