Detail produktu
Počítačově řízený UHV manipulátor pro automatické měření spekter XPS.
POLČÁK, J. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T. ČECHAL, J.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
UHV manipulátor s řídicí jednotkou. Elektronické ovládání polohy (osa y), polární a azimutální rotace. Ruční posuv v horizontální rovině (osa x). Software pro automatické měření polohově a úhlově závislých spekter XPS.
Klíčová slova
UHV manipulátor, ARXPS, ultra tenké vrstvy, automatické měření
Datum vzniku
28. 1. 2008
Umístění
A2/518
Možnosti využití
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www