Detail publikace

Depozice amorfního křemíku

SALYK, O., PORUBA, A.

Originální název

Anglický název

Deposition of Amorphous silicon

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Tutoriální přehled o technologiích depozice amorfního křemíku, obsahujících metody depozice z plynné fáze ve vysokofrekvenčním a mikrovlnném výboji v režimu elektronové cyklotronové rezonance, naprašování a napařování pomocí elektronového svazku.

Anglický abstrakt

Tutorial overview of deposition techniques of amorphous silicon icluded chemical vapor deposition in rf and microwave discharge in electron cyclotron resonance regime, sputtering and electron beam evaporation.

Klíčová slova v angličtině

deposition, amorphous silicon

Autoři

SALYK, O., PORUBA, A.

Rok RIV

1999

Vydáno

1. 1. 1999

Nakladatel

V. Dubravcová, P. Řepa, Slovakia,1999

Místo

Bratislava

ISBN

80-227-119

Kniha

Škola vákuovej techniky 1999

Strany od

Strany do

Strany počet

BibTex

@inproceedings{BUT695,
  author="Ota {Salyk} and Aleš {Poruba}",
  title="Depozice amorfního křemíku",
  booktitle="Škola vákuovej techniky 1999",
  year="1999",
  pages="75--83",
  publisher="V. Dubravcová, P. Řepa, Slovakia,1999",
  address="Bratislava",
  isbn="80-227-119"
}