Detail předmětu
Thin Films
FCH-BAO_TPVAk. rok: 2025/2026
Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).
Jazyk výuky
angličtina
Počet kreditů
4
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Nabízen zahraničním studentům
Všech fakult
Vstupní znalosti
Základy chemie a fyziky.
Pravidla hodnocení a ukončení předmětu
Písemný vstupní test a po jeho úspěšném absolvování (úspěšnost >50%) probíhá ústní zkouška, která hodnotí úroveň základních znalostí studenta z technologií přípravy vrstev, způsobů jejich charakterizace, vlastností a použití tenkých vrstev v rozsahu probíraném na přednášce.
Přednášky jsou nepovinné.
Přednášky jsou nepovinné.
Učební cíle
Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.
Studenti získají základní znalosti o průmyslových technologiích pro přípravu tenkých vrstev, o vybraných analýzách vlastností vrstev a jejich aplikacích. Tyto znalosti mohou využít při zpracování diplomové práce a také později jako technologové a výzkumní pracovníci.
Studenti získají základní znalosti o průmyslových technologiích pro přípravu tenkých vrstev, o vybraných analýzách vlastností vrstev a jejich aplikacích. Tyto znalosti mohou využít při zpracování diplomové práce a také později jako technologové a výzkumní pracovníci.
Základní literatura
D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998 (EN)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002 (EN)
N. Inagaki, Plasma Surface Modification and Plasma Polymerisation. Lancaster: Technomic Publ., 1996 (EN)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004 (EN)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002 (EN)
N. Inagaki, Plasma Surface Modification and Plasma Polymerisation. Lancaster: Technomic Publ., 1996 (EN)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004 (EN)
Zařazení předmětu ve studijních plánech
- Program NPAP_ENVI magisterský navazující 1 ročník, letní semestr, volitelný
Typ (způsob) výuky
Přednáška
26 hod., nepovinná
Vyučující / Lektor
Osnova
Úvod / Informační zdroje
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
Případová studie
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
Případová studie