čeština

Studenti získají základní znalosti o průmyslových technologiích pro přípravu tenkých vrstev, o vybraných analýzách vlastností vrstev a jejich aplikacích. Tyto znalosti mohou využít při zpracování diplomové práce a také později jako technologové a výzkumní pracovníci.

Základy chemie a fyziky.

Výuka předmětu je realizována formou: Přednáška - 2 vyučovací hodiny týdně. Vyučujícím a studentům je k dispozici e-learningový systém LMS Moodle.

Písemný vstupní test a po jeho úspěšném absolvování (úspěšnost >50%) probíhá ústní zkouška, která hodnotí úroveň základních znalostí studenta z technologií přípravy vrstev, způsobů jejich charakterizace, vlastností a použití tenkých vrstev v rozsahu probíraném na přednášce.

1. Úvod / Informační zdroje
2. Základy techniky vakua
3. Úvod do fyziky a chemie plazmatu
4. Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
5. Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
6. Plazmochemická depozice z plynné fáze
7. Růst tenké vrstvy
8. Měření tloušťky tenkých vrstev
9. Rastrovací sondová mikroskopie
10. Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
11. Případová studie
12. Případová studie
13. Písemný test, návštěva laboratoří

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.

Účast na přednášce není povinná.

D.M. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998 (CS)
Eckertová L.: Fyzika tenkých vrstev. SNTL, Praha 1973. (CS)
Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998. (CS)
M. Ohring, The Materials Science of Thin Films, Academic Press 2001 (CS)
Mironov V. L.: Fundamentals of Scanning Probe Microscopy. Tekhnosfera, Moscow 2004. (CS)
N. Inagaki, Plasma Surface Modification and Plasma Polymerization, Technomic 1996 (CS)
Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002. (CS)