čeština

Studenti získají znalosti z problematiky tenkých vrstev nezbytné pro řešení jejich disertační práce.

Základy fyziky a chemie.

Výuka předmětu je realizována formou: individuální konzultace. Vyučujícím a studentům je k dispozici e-learningový systém (LMS Moodle).

Písemný test a ústní zkouška.

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, hmotnostní spektrometrie, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze), spektroskopické elipsometrie a analytické metody (XPS, RBS, ERDA, FTIR).

Úvod / Informační zdroje
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Hmotnostní spektrometrie
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
Spektroskopická elipsometrie
Rentgenová fotoelektronová spektroskopie (XPS)
Metoda Rutherfordova zpětného odrazu (RBS)
Metoda zpětného odrazu (ERDA)
Infračervená spektroskopie (FTIR)
Případová studie

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.

Přednášky jsou nepovinné.

D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998. (CS)
H. Bubert, H. Jenett, Surface and Thin Film Analysis, Wiley-VCH, 2002 (CS)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002. (CS)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004. (CS)